Le polissage de la surface du bloc de silicium est directement lié à la qualité de la découpe des plaquettes de silicium. Lors du processus de polissage, le bloc de silicium est poli successivement à travers une meule grossière et une meule fine. La fonction de la meule grossière est de couper la couche endommagée à la surface du bloc de silicium ; la fonction de la meule fine est de polir et d'éliminer les traces de la couche endommagée et du sable grossier à la surface du bloc de silicium.
1. Situation actuelle
L'atelier de plaquettes de silicium monocristallin ouvre une machine pour accélérer la découpe laser. Si l'opérateur est légèrement imprudent pendant le travail lui-même, la qualité de la découpe laser du bloc de silicium sera médiocre. Les points principaux sont : il y a des marques de scie sur la surface du bloc de silicium découpé au laser ; la taille du bloc de silicium est « bombée » au milieu ; la forme du bloc de silicium local est pliée en raison de la déconnexion. À l'heure actuelle, la meule à brosses de l'atelier ne parvient plus à éliminer complètement les traces de scie causées par la découpe laser ; pour le bloc de silicium « ventre bombé », en raison de la capacité de polissage limitée de la meule à brosse, elle ne peut pas enlever la grande taille au milieu. À l’heure actuelle, il existe un besoin urgent d’une meule ayant une capacité de meulage plus forte.
2. Mettre en œuvre la stratégie
Le principe principal de la machine à polir actuellement utilisée en atelier est de polir la surface du bloc de silicium grâce à une meule grossière et une meule fine. À l'heure actuelle, la meule grossière de la machine à polir est remplacée par une meule diamantée, et la meule fine utilise une meule à brosse pour polir le bloc de silicium.
L'expérience utilise une meule à liant résine diamantée. Tous les diamants artificiels naturels peuvent être utilisés pour la taille. Le diamant est une forme de carbone extrêmement résistante. Il est amphiphile au fer et provoque des dégâts rapides. L'agent de liaison est une résine époxy. Le type liant a un certain effet d'amortissement des vibrations causées par le frottement au cours de la vie. Grâce à la forte puissance de meulage de la meule diamantée, certains problèmes de surface du bloc de silicium causés par la machine de découpe peuvent être éliminés, tels que : il y a des marques de scie sur la surface du bloc de silicium coupé par le laser ; la taille du bloc de silicium est « bombée » au milieu ; De bons résultats peuvent être obtenus en courbant la forme du bloc de silicium local provoquée par la cassure, en effectuant un polissage de base, puis en utilisant une meule fine pour améliorer la surface du bloc de silicium.
